[发明专利]一种扫描电子显微镜像散的校正方法无效
| 申请号： | 03141806.6 | 申请日： | 2003-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN1474433A | 公开（公告）日： | 2004-02-11 |
| 发明（设计）人： | 盛克平;丁听生;陆国辉 | 申请（专利权）人： | 上海市计量测试技术研究院 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28 |
| 代理公司： | 上海世贸专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李浩东 |
| 地址： | 20023*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及显微镜像差校正的技术领域，尤其是涉及一种扫描电子显微镜像散的校正方法。它包括如下步骤：a.选取校正样品；b.将校正样品放置在扫描电子显微镜的样品台上；c.开启扫描电子显微镜；d.将扫描电子显微镜的放大倍率调整到≥3000倍，工作距离调整到8～15mm；e.将校正样品的扫描电子显微镜图像调整到正聚焦状态；f.使用扫描电子显微镜的图像消除像散功能，将图像的边缘轮廓调整到清晰状态。本发明解决了以往在未知的被测样品上寻找一块理想的结构来校正系统像散的困难，可使本技术领域的普通技术人员在扫描电子显微镜中校正像散的工作变得很方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 电子显微镜 校正 方法 | ||
【主权项】：
1.一种扫描电子显微镜像散的校正方法，其特征是它包括如下步骤：a.选取校正样品；b.将校正样品放置在扫描电子显微镜的样品台上；c.开启扫描电子显微镜；d.将扫描电子显微镜的放大倍率调整到≥3000倍，工作距离调整到5～15mm；e.将校正样品的扫描电子显微镜图像调整到正聚焦状态；f.使用扫描电子显微镜的图像消除像散功能，将校正样品图像的边缘轮廓调整到清晰状态。
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