[发明专利]透明导电薄膜用靶、透明导电薄膜及其制造方法、显示器用电极材料、有机电致发光元件和太阳能电池有效
| 申请号： | 03138519.2 | 申请日： | 2003-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN1461819A | 公开（公告）日： | 2003-12-17 |
| 发明（设计）人： | 阿部能之 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34;C22C28/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种透明导电薄膜用靶，其具有氧化铟作为其主要组分并含有钨和/或钼，其中通过使氧化铟粉末和氧化钨粉末和/或氧化钼粉末成形，然后加热并烧结该成形体，使得溅射后的薄膜具有氧化铟作为主要组分，并含有原子比(W+Mo)/In为0.0040－0.0470的钨和/或钼而获得所述透明导电薄膜用靶，其中该透明导电薄膜具有优异的表面光滑度和6×10－4Ω·cm或更低的低电阻率，并且甚至当在170℃下加热时，其表面光滑度和电阻率也不会变化。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 导电 薄膜 及其 制造 方法 显示 器用 电极 材料 有机 电致发光 元件 太阳能电池 | ||
【主权项】：
1.一种透明导电薄膜用靶，其具有氧化铟作为其主要组分并含有钨和/或钼，其中通过制备和形成氧化铟粉末和氧化钨粉末和/或氧化钼粉末，然后加热并烧结该成形体，使得溅射后的薄膜具有氧化铟作为主要组分，并含有原子比(W+Mo)/In为0.0040-0.0470的钨和/或钼而获得所述透明导电薄膜用靶。
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