[发明专利]图形写入装置和图形写入方法有效
| 申请号： | 03131462.7 | 申请日： | 2003-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN1461972A | 公开（公告）日： | 2003-12-17 |
| 发明（设计）人： | 城田浩行;桑原章 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤;楼仙英 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 图像记录装置(1)具有用于夹持衬底(9)的平台单元(2)，具有多个辐射部件(40)的辐射单元(4)，和用于相对地移动的平台单元(2)和辐射单元(4)的机构。辐射部件(40)具有DMD，其具有一组用于调制反射光束的微反射镜，和一个微移动机构，用于相对于辐射单元(4)沿X方向移动的DMD，由此微观地沿X方向移动辐射部件(40)的辐射位置。辐射部件(40)还具有一个变焦透镜，由此在衬底(9)上放大和缩小DMD的一幅图像。通过平行地和独立地控制多个辐射部件(40)，图像记录装置(1)能够以高速写入精细图形。 | ||
| 搜索关键词： | 图形 写入 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图形写入装置，通过用基于图像数据调制的光辐射感光材料而写入图形，包含：一个辐射单元，其包括多个用于用多条光束辐射感光材料的辐射部件，其中每条光束是被调制的；一个扫描机构，用于在用所述多条光束辐射所述感光材料的同时相对于所述辐射单元扫描所述感光材料；以及一个辐射位置控制机构，用于沿几乎与所述感光材料的扫描方向垂直的方向改变对应于所述多个辐射部件的多个辐射位置的间隔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大日本网目版制造株式会社，未经大日本网目版制造株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03131462.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
