[发明专利]成膜方法和装置、液滴吐出装置、滤色片的制造方法及其应用有效
申请号: | 03102550.1 | 申请日: | 2003-02-11 |
公开(公告)号: | CN1438077A | 公开(公告)日: | 2003-08-27 |
发明(设计)人: | 片上悟;川濑智已;伊藤达也 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B05D1/02 | 分类号: | B05D1/02;B05D1/26;B05C5/02;G02B5/20;G02F1/13;H01J9/20 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 段承恩,刘金辉 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供了在用喷墨头那样的液滴吐出头吐出液状材料进行成膜的情况下,可以减少由液状材料的吐出量的不均一造成的不均匀的装置和方法。此外,还提供了在利用液状材料的吐出的成膜技术中,即使对于各种的对象物也可以在抑制成本的增大的同时提高处理效率的装置和方法。在制造滤色片的情况下,使滤色片单体材料成为液滴后地液滴吐出头22的喷嘴27对各个滤色片单体形成区域7吐出。在该情况下,对于某一色的滤色片单体材料来说,使液滴吐出头22对母基板12的长边方向L进行扫描,对于其它的色的滤色片单体材料来说,则使液滴吐出头22在母基板12的短边方向M上进行扫描。 | ||
搜索关键词: | 方法 装置 吐出 滤色片 制造 及其 应用 | ||
【主权项】:
1.一种成膜方法,该方法为通过液滴吐出装置对对象物的表面吐出液状材料的液滴进行成膜的成膜方法,其特征在于:具有边使上述液滴吐出装置对上述对象物沿着上述表面的第1方向扫描,边依次吐出多滴上述液滴的第1扫描步骤,和边使上述液滴吐出装置对上述对象物沿着与上述第1方向不同的上述表面的第2方向扫描,边依次吐出多滴上述液滴的第2扫描步骤。
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