[发明专利]不良分析方法无效
| 申请号： | 03101857.2 | 申请日： | 2003-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN1459801A | 公开（公告）日： | 2003-12-03 |
| 发明（设计）人： | 太田文人 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G11C29/00 | 分类号： | G11C29/00;G01R31/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘宗杰,叶恺东 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明得到能够高精度地分类不良模式的不良分析方法，根据使用LSI测试器2进行的预定检查的结果，生成原始FBM27a，其次，通过把FBM27a用8×8比特简并，生成FBM27b，然后，根据FBM27b，特定FBM27a内存在不良比特的区域，然后，通过使与上述区域相对应部分的FBM27a用2×2比特简并，生成FBM27c、27d，最后，根据FBM27c、27d，特定不良比特。 | ||
| 搜索关键词： | 不良 分析 方法 | ||
【主权项】：
1.一种不良分析方法，其特征在于具备：(a)根据对于检查对象进行的预定检查的结果，生成具有矩阵形地排列了多个比特的图形的第1FBM的工序；(b)通过用第1简并率使上述第1FBM简并，生成第2FBM的工序；(c)根据上述第2FBM，特定在上述第1FBM内存在不良比特的区域的工序；(d)用比上述第1简并率低的第2简并率，通过使与上述区域相对应部分的上述第1FBM简并，生成第3FBM的工序；(e)根据上述第3FBM，特定上述不良比特的工序。
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