[发明专利]样件镜面反射率的测量有效
| 申请号： | 02807828.4 | 申请日： | 2002-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN1500209A | 公开（公告）日： | 2004-05-26 |
| 发明（设计）人： | M·R·哈默;R·J·弗朗西斯 | 申请（专利权）人： | 美国瓦里安澳大利亚有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 吴明华 |
| 地址： | 澳大利亚*** | 国省代码： | 澳大利亚;AU |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于检测样件(22)的绝对镜面反射率的装置(10)，它包括：一样件支承架(12)，一用来将一入射光束(16)发射到一样件(22)表面上的光源(18)，以及一用来检测入射光线的镜面反射分量的检测器(26)。该光源(18)、样件支承架(12)和检测器(26)被安装和可操作地相连成相对可动，以改变光线(16)入射到样件(22)上的入射角，并相应地自动改变检测器(26)的相对位置，以使反射角与入射角相等。在无样件(22)或将样件拆下样件支承(12)架时，光线(16)直接照射到检测器(26)上，以能直接测量出作为基准测量的光线(16)的绝对强度。这就可免去使用诸如镜子等的中间光学元件，这种镜子之类的中间光学元件会随时间推移而性能变差。这样还可使装置更加简化些。 | ||
| 搜索关键词： | 样件 反射率 测量 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量样件的镜面反射率的装置，它包括：一样件支承架；一光源，用来将一光束以一预定的入射角发射到一由样件支承架所支承的样件的表面上，该光源和样件支承架安装成可相对运动以改变所述入射角；以及一检测器，用来检测从样件的所述表面镜面反射出来的所述光束，检测器和样件支承件也安装成可相对运动，其中，光源、检测器和样件支承架相应地相对定位，用以检测所发射的光束在不同的光束入射角时的镜面反射分量。
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