[发明专利]打印机头的制造方法及静电作动器的制造方法无效
| 申请号： | 02806735.5 | 申请日： | 2002-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN1498167A | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 谷川彻;牛滨五轮男 | 申请（专利权）人： | 索尼公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16;B41J2/045;B41J2/055 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒;魏晓刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在可动电极形成于固定电极上的牺牲层上之后，除去牺牲层，形成在固定电极和可动电极之间的空间。这样，可简单和精确地制造以及简单地集成驱动电路。 | ||
| 搜索关键词： | 打印 机头 制造 方法 静电 作动器 | ||
【主权项】：
1.打印机头的制造方法，它通过使可动电极移动，改变液体墨盒的容积，将小墨滴从预定的喷嘴喷出；该可动电极由在固定电极和可动电极之间产生的静电力驱动移动；该方法包括：固定电极形成步骤，用于在预定的基片上形成固定电极；牺牲层形成步骤，用于在固定电极上形成牺牲层；可动电极形成步骤，用于在牺牲层上形成可动电极；和牺牲层除去步骤，用于除去牺牲层，在固定电极和可动电极之间形成空间。
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