[实用新型]籽晶杆无效

专利信息
申请号: 02285894.6 申请日: 2002-11-21
公开(公告)号: CN2578343Y 公开(公告)日: 2003-10-08
发明(设计)人: 申请(专利权)人:
主分类号: C30B15/32 分类号: C30B15/32
代理公司: 北京元中知识产权代理有限责任公司 代理人: 王明霞
地址: 100074 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种籽晶杆,用于拉制半导体晶体时夹持籽晶。其包括一杆体,在所述杆体的上端设有与设备连接的连接结构,其特点为:所述杆体具有一纵向贯通的空腔,且位于所述杆体的下端的空腔二相对于其上方的空腔一呈收缩状。解决了现有籽晶杆装置结构复杂、不易于安装的问题,同时克服了现有技术中籽晶固定不牢固的问题,以及籽晶用定位销固定,出炉后不易取下籽晶的问题,同时防止了籽晶杆在晶体生长过程中摆动对晶体生长质量的影响。
搜索关键词: 籽晶
【主权项】:
1.一种籽晶杆,其包括一杆体(10),在所述杆体(10)的上端设有与设备连接的连接结构(11),其特征在于:所述杆体具有一纵向贯通的空腔(12),且位于所述杆体(10)的下端的空腔二(13)相对于其上方的空腔一(14)呈收缩状。
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