[实用新型]籽晶杆无效
申请号: | 02285894.6 | 申请日: | 2002-11-21 |
公开(公告)号: | CN2578343Y | 公开(公告)日: | 2003-10-08 |
发明(设计)人: | 申请(专利权)人: | ||
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32 |
代理公司: | 北京元中知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 王明霞 |
地址: | 100074 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种籽晶杆,用于拉制半导体晶体时夹持籽晶。其包括一杆体,在所述杆体的上端设有与设备连接的连接结构,其特点为:所述杆体具有一纵向贯通的空腔,且位于所述杆体的下端的空腔二相对于其上方的空腔一呈收缩状。解决了现有籽晶杆装置结构复杂、不易于安装的问题,同时克服了现有技术中籽晶固定不牢固的问题,以及籽晶用定位销固定,出炉后不易取下籽晶的问题,同时防止了籽晶杆在晶体生长过程中摆动对晶体生长质量的影响。 | ||
搜索关键词: | 籽晶 | ||
【主权项】:
1.一种籽晶杆,其包括一杆体(10),在所述杆体(10)的上端设有与设备连接的连接结构(11),其特征在于:所述杆体具有一纵向贯通的空腔(12),且位于所述杆体(10)的下端的空腔二(13)相对于其上方的空腔一(14)呈收缩状。
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