[发明专利]复合式多变量分析系统与方法无效

专利信息
申请号: 02159107.5 申请日: 2002-12-20
公开(公告)号: CN1510730A 公开(公告)日: 2004-07-07
发明(设计)人: 戴鸿恩 申请(专利权)人: 力晶半导体股份有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人: 程伟
地址: 中国*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种复合式多变量分析系统,包括一储存模块、一选择模块、一分析模块、一相关性搜索模块以及一报表产生模块。其中储存模块储存一第一数据库及一第二数据库,第一数据库记录有至少二个数据组,各数据组分别包括与一工艺相关的多个项目及各项目的数据,第二数据库记录有其中一数据组所包括之项目与另一数据组所包括之项目之间的相关性;选择模块自第一数据库所记录的二个数据组之一中选择一项目;分析模块分析由选择模块所选择的项目,并判断此项目的数据是否合乎规格;相关性搜索模块则在判断此项目的数据不合乎规格时,搜索第二数据库以自另一数据组中取得与此项目相关的另一项目,然后分析模块再分析此另一项目并判断其数据是否合乎规格。另外,本发明亦公布一种利用上述系统而实施的复合式多变量分析方法。
搜索关键词: 复合 多变 分析 系统 方法
【主权项】:
1.一种复合式多变量分析系统,包含:一储存模块,其至少储存有:一第一数据库,其记录有至少二个数据组,各所述数据组分别包含与一工艺相关的多个项目及该项目的数据;以及一第二数据库,其记录有该数据组所分别包含的各所述项目之间的相关性;一选择模块,其自该第一数据库所记录的各所述数据组的其中之一中,选择各所述项目的其中之一;一分析模块,其分析该选择模块所选择的该项目,并判断该项目的数据是否合乎规格;以及一相关性搜索模块,其当该分析模块判断该项目的数据不合乎规格时,搜索该第二数据库,从而自另一所述数据组中取得与该项目相关的另一项目,其中该分析模块分析该另一项目并判断该另一项目的数据是否合乎规格。
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