[发明专利]用于洁净室的包括下游过滤器的新鲜空气管道有效
| 申请号： | 02154534.0 | 申请日： | 2002-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN1467442A | 公开（公告）日： | 2004-01-14 |
| 发明（设计）人： | 林昌洙;林淑姬;黄正性 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | F24F3/16 | 分类号： | F24F3/16;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谢丽娜;谷惠敏 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 配置新鲜空气管道以使空调系统过滤的新鲜空气从新鲜空气管道流入洁净室，新鲜空气具有第一颗粒浓度。对位于空调系统下游而位于洁净室上游的新鲜空气管道上的单独颗粒过滤器进行配置，以进一步过滤新鲜空气，从而提供具有第二颗粒浓度的过滤的新鲜空气，第二颗粒浓度低于第一颗粒浓度。而且还披露了有关方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 洁净室 包括 下游 过滤器 新鲜空气 管道 | ||
【主权项】：
1.一种对洁净室提供新鲜空气的设备，该设备包括：新鲜空气管道，配置该新鲜空气管道以使空调系统过滤的新鲜空气从新鲜空气管道顺流到洁净室，该新鲜空气具有第一颗粒浓度；以及单独颗粒过滤器，在新鲜空气管道内，位于空调系统的下游，且位于洁净室的上游，配置该单独颗粒过滤器以进一步对新鲜空气进行过滤以提供具有第二颗粒浓度的经过滤的新鲜空气，该第二颗粒浓度低于第一颗粒浓度。
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