[发明专利]彩色滤光片镀膜方法无效
申请号: | 02145751.4 | 申请日: | 2002-10-11 |
公开(公告)号: | CN1479120A | 公开(公告)日: | 2004-03-03 |
发明(设计)人: | 张智能;颜瑞宏;王文虎;金克恕;余安华 | 申请(专利权)人: | 精碟科技股份有限公司 |
主分类号: | G02B5/23 | 分类号: | G02B5/23;C08J7/04;G02F1/1335 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 陈肖梅;文琦 |
地址: | 台湾省台北*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种彩色滤光片镀膜方法,包含以下步骤:于一基板上形成一第一光阻层;以曝光显影方式于第一光阻层上形成至少一对准图案与一第一色膜图案;涂布一第一色料,使得第一色料填于对准图案与第一色膜图案中;去除第一光阻层;于形成有对准图案与第一色膜图案的基板上形成一第二光阻层;利用基板上的对准图案进行对准,以曝光显影方式于第二光阻层上形成一第二色膜图案;涂布一第二色料,使得第二色料填于第二色膜图案中;以及去除第二光阻层。 | ||
搜索关键词: | 彩色 滤光 镀膜 方法 | ||
【主权项】:
1.一种彩色滤光片镀膜方法,其特征在于,包含下列步骤:于一基板上形成一第一光阻层;以曝光显影方式于该第一光阻层上形成至少一对准图案与一第一色膜图案;涂布一第一色料,使得该第一色料填于该对准图案与该第一色膜图案中;去除该第一光阻层;于形成有该对准图案与该第一色膜图案的该基板上形成一第二光阻层;利用该基板上的该对准图案进行对准,以曝光显影方式于该第二光阻层上形成一第二色膜图案;涂布一第二色料,使得该第二色料填于该第二色膜图案中;以及去除该第二光阻层。
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