[发明专利]表面检测装置无效
| 申请号： | 02142907.3 | 申请日： | 2002-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN1407329A | 公开（公告）日： | 2003-04-02 |
| 发明（设计）人： | 矶崎久;松田正则 | 申请（专利权）人： | 株式会社拓普康 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;G01N21/88 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏,杨松龄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种表面检测装置，具有附着了已知微粒的校正用晶片、具有自动搬运装置的晶片搬运部、表面检测部、收纳前述校正用晶片的校正用晶片收纳部。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 检测 装置 | ||
【主权项】：
1、一种表面检测装置，包括：附着规格已知的微粒的校正用晶片、具有自动搬运装置的晶片搬运部、表面检测部、收纳前述校正用晶片的校正用晶片收纳部。
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