[发明专利]用热氧化氮化锌制备受主型氧化锌薄膜材料的方法

摘要

本发明涉及用热氧化氮化锌制备受主型氧化锌薄膜材料的方法。在不同衬底上通过高温热氧化氮化锌单晶薄膜获得p-型氧化锌材料，通过控制氧化温度与热氧化时间来控制p-型氧化锌材料的受主杂质浓度。利用高温条件下氧易于替代立方反铁锰矿结构氮化锌中的氮，并形成六方结构p-型氧化锌，可实现氮的替位掺杂形成p-型氧化锌，并通过热氧化氮化锌薄膜制备出受主浓度为6×10¹⁶-4×10¹⁸·cm^-3的具有六方结构的p-型氧化锌薄膜材料。方法简单，实验条件可控，可实现对p-型氧化锌电学性质和载流子浓度的控制，以满足制备氧化锌P-N结材料和光电子器件等方面的需要，可用于制备氧化锌紫外发光管、激光二极管、紫外探测器。

主权项

1、用热氧化氮化锌制备受主型氧化锌薄膜材料的方法，其特征在于：首先将生长在Si基片或石英基片上的具有立方反锰铁矿结构的氮化锌单晶薄膜放入管式高温扩散炉的恒温区，选择管式高温扩散炉的炉温范围为500-800℃，通入高纯氧气，根据所需要的薄膜厚度确定氧化时间，氧化时间的选择范围为1-2小时，氧化后即获得受主型氧化锌薄膜材料。