[发明专利]叠合标记及其应用方法

摘要

本发明提供一种可同时侦测对准精度、焦距值、水平与像差的叠合标记及其应用方法，在曝光区域的角落形成包括四个内测试条与四个外测试条的叠合标记，其中内测试条还分为锯齿状部位与条状部位；而外测试条则为前层已蚀刻的条状图案。其配置为内测试条与外测试条均围成矩形，每一个测试条为矩形的一边，且两两不相连，其中，每两个对边的内测试条的锯齿状部位具相同的相对位置；外测试条围成的矩形包围内测试条围成的矩形外。进行侦测时，会有测试束扫描过分为两区域的扫描区域，其一包括外测试条与内测试条锯齿状部位；另一包括外测试条与内测试条条状部位。

主权项

1.一种可同时侦测对准精度、焦距值、水平与像差的叠合标记，包括：四个内测试条，其中每一内测试条由一锯齿状部位与一条状部位组成，其中该些内测试条围成一第一矩形，每一内测试条为该第一矩形的一边，且两两不相连；以及四个外测试条，其中每一外测试条均为该些内测试条的前层已蚀刻的条状图案，且该些外测试条围成一第二矩形，每一外测试条为该第二矩形的一边，且两两不相连，其中，该第二矩形包围该第一矩形。