[发明专利]材料供给装置无效
| 申请号： | 02131640.6 | 申请日： | 2002-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN1405533A | 公开（公告）日： | 2003-03-26 |
| 发明（设计）人： | 石见健二 | 申请（专利权）人： | 株式会社瑞光 |
| 主分类号： | G01F1/30 | 分类号： | G01F1/30 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳,张英光 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种适于间歇地供给定量材料的材料供给装置。涉及一种将材料从第一腔室经由第二腔室而供给至第三腔室的材料供给装置。该装置上设置有在所述第一腔室和第二腔室之间的第一阀，该阀处于关闭状态时保持该第一腔室和第二腔室之间气密性；在所述第二腔室和第三腔室之间设置有第二阀，该阀处于关闭状态时保持该第二腔室和第三腔室之间气密性；还设置有当所述第一阀在保持所述第一腔室和第二腔室之间气密性之前，用于防止材料从所述第一腔室向第二腔室移动的第三阀。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 供给 装置 | ||
【主权项】：
1.一种将材料从第一腔室经由第二腔室而供给至第三腔室的材料供给装置，其特征在于，该装置上设置有在所述第一腔室和第二腔室之间的第一阀，该第一阀处于关闭状态时保持该第一腔室和第二腔室之间的气密性；在所述第二腔室和第三腔室之间设置有第二阀，该第二阀处于关闭状态时保持该第二腔室和第三腔室之间的气密性；还设置有当所述第一阀在保持所述第一腔室和第二腔室之间的气密性之前，用于防止材料从所述第一腔室向第二腔室移动的第三阀。
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