[发明专利]带自对准的掩膜板无效
| 申请号： | 02111916.3 | 申请日： | 2002-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1381738A | 公开（公告）日： | 2002-11-27 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;贾书海;王宏坤 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G02B6/136 | 分类号： | G02B6/136;G03F1/08 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟 |
| 地址： | 200030*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 带自对准的掩膜板属于微细加工技术领域。本发明主要包括玻璃基板、Au/Cr层、镀镍层和微孔,玻璃基板在最上层,中间为Au/Cr层,下层为镀镍层,玻璃基板、Au/Cr层、镀镍层之间通过胶联或键合连接,微孔在镀镍层上。本发明具有实质性特点和显著进步,本发明可对光纤端面直接进行加工,解决了光纤端面加工技术难,对准程度低的问题,并可对光纤端面进行任意形状和结构的加工,对研制光纤通信用的器件和含有复杂图形的器件具有特别重要的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 掩膜板 | ||
【主权项】：
1、一种带自对准的掩膜板，主要包括：玻璃基板(1)、Au/Cr层(2)、镀镍层(3)，其特征在于包括微孔(4)，其连接方式为：玻璃基板(1)在最上层，中间为Au/Cr层(2)，下层为镀镍层(3)，玻璃基板(1)、Au/Cr层(2)、镀镍层(3)之间通过胶联或键合连接，微孔(4)位于镀镍层(3)上。
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