[发明专利]降低对电缆长度的敏感性的射频功率发生器的控制器有效
申请号: | 02105328.6 | 申请日: | 2002-02-26 |
公开(公告)号: | CN1380744A | 公开(公告)日: | 2002-11-20 |
发明(设计)人: | 凯文·P·纳斯曼;艾伦·T·拉多姆斯基 | 申请(专利权)人: | ENI技术公司 |
主分类号: | H03G3/30 | 分类号: | H03G3/30;G05F1/66 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李强 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种射频(RF)功率发生器系统,包括一个功率发生器,它产生被输出到负载的射频功率信号。该射频发生器产生一个正向功率反馈信号以及一个反向功率反馈信号。一个控制器接收正向功率反馈信号以及反向功率反馈信号。该控制器产生一个设置点信号,后者被输出到功率发生器。一个设置点修改器接收正向功率反馈信号、反向功率反馈信号以及一个外部设置点信号。设置点修改器基于正向和反向功率反馈信号来计算一个正向功率限值。设置点修改器基于正向功率限值和外部设置点信号其中之一,向控制器输出一个已修改的设置点信号。设置点修改器和控制器可以被集成在一起。 | ||
搜索关键词: | 降低 电缆 长度 敏感性 射频 功率 发生器 控制器 | ||
【主权项】:
1.一种射频(RF)功率发生器系统,包括:一个功率发生器,它产生被输出到负载的一个射频功率信号、一个正向功率反馈信号以及一个反向功率反馈信号;一个控制器,它接收所述正向功率反馈信号以及所述反向功率反馈信号,并产生一个设置点信号,该设置点信号被输出到所述功率发生器;以及一个设置点修改器,它接收所述正向功率反馈信号、所述反向功率反馈信号以及一个外部设置点信号,其中,所述设置点修改器基于所述正向和反向反馈信号来计算一个正向功率限值,并基于所述正向功率限值和所述外部设置点信号其中之一,向所述控制器输出一个已修改的设置点信号。
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