[发明专利]包括粗粒度和细粒度树脂粘结部的磨床磨杆无效
| 申请号： | 01804470.0 | 申请日： | 2001-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN1424953A | 公开（公告）日： | 2003-06-18 |
| 发明（设计）人： | M·A·斯托克尔 | 申请（专利权）人： | 尤诺瓦英国有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24D5/14;//H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 蔡民军,黄力行 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用来磨削例如半导体晶片的圆片工件边缘内切口的磨杆(53)，它包括一用来安装在磨床中的金属心轴(132)，以及一邻接的圆柱区域，所述圆柱区域具有轴向隔开的精磨料区段(160)和粗粒度区段(162)，而且后者在轴向更接近心轴(132)。使用时磨床具有一可旋转成形轮，同样地类似成形的切口磨削沟槽(140)和(142)由该轮分别在磨削区段(162)和(160)中成形。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 粒度 细粒度 树脂 粘结 磨床 | ||
【主权项】：
1.一种用于切口磨削的磨杆，它包括一磨杆心轴和一圆柱区域，所述圆柱区域足够长以使分别在多个沿该圆柱区域轴向隔开区段内形成至少两个成形切口磨削沟槽，其中轴向远离所述磨杆心轴的所述区段是用来粗磨一工件内切口的粗粒度树脂粘结区段，而较接近所述磨杆心轴的所述区段是用来精磨该切口的细粒度树脂粘结区段。
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