[发明专利]检测光盘物镜小光斑的装置

摘要

一种检测光盘物镜小光斑的装置，包括由激光光源发射的激光束照射被测物镜产生的小光斑被光纤探针的针尖探测后由探测组件转变成电信号经前置放大器输入计算机。有白光光源发射的白光光束透过被测物镜照射到光纤探针的针尖上，将被测物镜的像方焦斑上的针尖反射到摄像机的接收面上。在联接到摄像机上的监视器上能够观察到调整光纤探针针尖对准被测物镜的状况，从而能够精确而方便地调整针尖探测的位置。

主权项

1.一种检测光盘物镜小光斑的装置，包括：<1>有激光光源(7)，光纤探针(11)置放在调整架(10)上的压电陶瓷扫描器(9)内部中心轴线上，其针尖(1101)露在压电陶瓷扫描器(9)之外，该光纤探针(11)的光信号经探测组件(12)变成电信号后经前置放大器(13)输入计算机(14)，计算机(14)通过高压放大器(15)与压电陶瓷扫描器(9)相联，被测物镜(8)置于被测物镜(8)的焦斑落在光纤探针(11)的针尖(1101)上的位置上；其特征在于：<2>有中心点(O0)置于激光光源(7)光轴(oo)上的分光镜(6)，分光镜(6)的反射面与激光光源(7)的光轴(oo)成45°角，分光镜(6)反射面的中心点(O0)与光纤探针(11)的针尖(1101)连线为垂直于激光光源(7)光轴(oo)的垂直线(o′o′)；<3>有中心轴线与上述垂直线(o′o′)重合的置于垂直线(o′o′)上的带有监视器(2)的摄像机(1)，摄像机(1)的接收面(101)隔着分光镜(6)与光纤探针(11)的针尖(1101)相对；<4>在分光镜(6)与摄像机(1)接收面(101)之间的垂直线(o′o′)上置有中心轴线与垂直线(o′o′)重合的镜筒透镜(3)，镜筒透镜(3)的焦点恰好落在摄像机(1)的接收面(101)上；<5>在分光镜(6)与镜筒透镜(3)之间的垂直线(o′o′)上置有中心点在垂直线(o′o′)上的半反半透分光镜(4)，半反半透分光镜(4)的反射面向着分光镜(6)，反射面与垂直线(o′o′)成45°角；<6>对着半反半透分光镜(4)的反射面有白光光源(5)，白光光源(5)的中心轴线(o″o″)穿过半反半透分光镜(4)的中心点与垂直线(o′o′)垂直，与激光光源(7)的光轴(oo)平行。